二手 AMAT / APPLIED MATERIALS VHP #293664316 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS VHP(真空处理器平台)是一款设计用于半导体制造环境的高性能晶圆处理器。AMAT VHP专门提供200 mm和300 mm晶片在湿板凳、纺纱机、蚀刻机、金属沉积工具和其他真空系统等工艺工具之间的传输。该系统使用真空握把头进行防傻瓜晶片传输,并配备基于视觉的对准工具,在每个传输周期提供精确居中的晶片放置。APPLICED MATERIALS VHP提供了制造复杂集成电路的大量工艺能力。它的模块化、可扩展设计使用户能够轻松地为电路制造工作流程中的特定流程构建系统。这种灵活性和可扩展性通过VHP同时控制多个过程工具的能力得到增强,如纺纱机、干蚀刻等离子体、离子植入器和直接写入工具。这种自动化控制功能使用户能够快速构建系统以实现高吞吐量和低浪费。在安全性方面,AMAT/APPLICED MATERIALS VHP包含了紧急停止按钮、acut off监测和通知流程、紧急疏散控制、硬件和警报系统等标准安全功能。此外,AMAT VHP可以配置额外的环境安全系统,如强制空气、洁净室空气流动系统以及过滤空气通风的选项。APPLIED MATERIALS VHP在相对较小的占地面积内提供了大量的动力。控制系统包括带有显示显示器的商用PLC、RS-232和以太网通信接口以及编程软件。晶圆处理器也有广泛的功率和电压要求来处理单面和双面晶圆。VHP旨在以经济高效的方式为生产运行提供卓越的利用率和安全性。该系统旨在以高吞吐量处理大量晶片,但仍可灵活满足不同的处理需求。AMAT/APPLIED MATERIALS VHP具有强大的设计和可靠的性能,是半导体和其他先进制造工艺的理想选择。
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