二手 ASM DA 139F #9266304 待售

ASM DA 139F是一种先进的晶圆处理设备,设计用于安全高效地移动、旋转、传输和加工直径不超过300 mm的基板。它使用硬件和软件的高级组合，为用户提供更高的吞吐量和高级流程控制。该系统设计为同时处理多个基板，与所有主要晶圆和基板类型兼容，包括硅、陶瓷和金属。该机包括两个负载端口、一个高速平台和一个冷却风扇，用于控制基板的温度。负载端口配备了低调的舞台机架（LPR）。这样可以将基板放置在精确的位置，从而提高基板装卸过程中的精度。高速平台是可调的，以适应不同的基板尺寸，并允许基板加工或旋转在高达1.5度每秒。该装置还包括一个机械臂，用于在精确编程的位置拾取和放置基板。机器人技术能够执行各种任务,包括基板处理、高精度旋转和产品分类。机器人能够检测基板之间的潜在碰撞，并采取适当步骤避免接触。该机器与终端效应器无关，并且与来自不同制造商的各种类型的终端效应器兼容。该软件套件集成到控制工具中,使用户能够根据自己的需要自定义操作序列并有效地监控资产性能。温度和湿度监测有助于确保过程保持在所需的温度范围内，避免对基板造成任何损害。此外，该型号还配备了一大堆诊断和安全功能，如发生断电或故障时自动关机。该设备还保存所有处理参数的记录，并提供一个现有操作的综合库。综上所述，DA 139F是一种顶级晶圆处理系统，旨在进行可靠高效的基板加工。该机器具有强大的机器人技术、定制软件以及现代诊断和安全功能。该设备经过独特的设计,可提供最大的吞吐量和质量,同时最大限度地降低成本和风险。