二手 ASM DA 139L #9266306 待售

ASM DA 139L是一种最先进的晶圆处理程序,可容纳直径高达8英寸（200毫米）的晶圆。它设计用于在载波和晶片盒式磁带之间传输晶圆,用于制造、工艺开发和操作等多种用途。该设备具有IE-4500R机器人和EcoPlate （TM）晶片处理平台,一次最多可提供四个晶片的移动和定位功能。它还包括自动加载软件，该软件可自动创建盒式磁带中晶片的地图，并允许晶片批次之间的快速转换。能够立即修改基材特定配方可以帮助减少批次之间的停机时间。DA 139L配备两个卡带；CLM-1300是连续的卡带装载机/卸载机,CW-1300是子拆分卡带装载机/卸载机。该CLM-1300采用高速50晶片装载机和卸载机，用于单面或双面晶片载波。CW-1300sub-split卡带装载机/卸载机用于主卡带和子拆分卡带之间的基板传输。此单元最多可处理两个直径为8英寸（200毫米）的晶圆,无需附加适配器或盖。CW-1300的另一个独特特点是能够一次运输多达五个晶圆载波，节省了宝贵的时间，降低了总体成本。ASM DA 139L还包括几个安全功能，例如使用运动传感器检测异物对机器人手臂的任何撞击并立即停止的电敏防护装置（ESPD）。它的设计还包括一个过载传感器，以及一个防止外界物体污染和干扰的冗余机器人手臂裙。总体而言，DA 139L设计为可靠、经济高效的晶圆处理程序。该系统旨在轻松集成到现有晶圆处理系统中,并提供多种功能,包括与多种基板处理类型的兼容性、可配置的定向和处理模式以及可配置的自动序列。ASM DA 139L将为用户提供可靠而强大的系统,帮助他们实现最高的效率和生产力。