二手 ASML AWH MK3 #9262329 待售

ASML AWH MK3是一种先进的晶圆处理机，设计用于半导体制造业。它设计精确度、速度和可靠性,以确保有效、快速、一致地完成从加工室装卸薄片硅片的过程。AWH MK3具有先进的机器人晶片处理机制,能够在加工室的心轴上精确、高速地放置晶片。机器人机械手由三连杆机器人臂、7轴定位机构和设备组成，在装卸时精确检测晶片位置。ASML AWH MK3还配备了许多先进的传感器，包括红外摄像头、激光位移传感器和图像处理器，所有这些都用于在操作过程中精确检测晶圆在心轴上的位置。AWH MK3还配备了先进的晶圆运输设备，使晶圆从晶圆制造设施顺利快速地运输到加工区。运输系统采用高速滚筒装置，传感器和激光传感技术防止碰撞。该机每个循环最多可装卸8个基板，非常适合大批量生产需求。此外,ASML AWH MK3还具有尖端的安全功能。这包括一个将所有电能与装卸系统隔离开来的能源隔离工具，以防止危险的电力事故。机器还具有故障安全功能，防止机器人手臂在发生任何事故或故障时移动。AWH MK3还配备了广泛的图形用户界面，使用户可以轻松监控、控制和维护机器的运行。这包括具有直观、用户友好和交互式图形用户界面的"触摸屏监视器",使用户能够轻松维护、配置和校准资产。该机还兼容了广泛的自动化软件包和网络接口，允许远程访问和控制模型。为了最大限度地提高ASML AWH MK3的性能、可靠性和安全性,已将全面的诊断和维护功能系统集成到设备中。这包括用于验证系统性能的自检功能、用于设置正确操作参数的自动校准以及用于检测单元故障和故障的警报指示灯。AWH MK3是一种先进可靠的晶圆处理工具，专为满足半导体制造业的苛刻需求而设计。凭借其高精度和速度、全面的安全功能和直观的用户界面，它让用户能够轻松地、自信地准确加载和卸载晶片。