二手 ASYS LSB03 #9000005 待售

ASYS LSB03是一种高度可靠的晶片处理程序,旨在运输和放置尺寸可达300 mm的晶片。它采用全自动晶片操作设备，能够传递大小和厚度各异的基板。该系统旨在确保晶片放置的准确性和可重复性，以及较快的吞吐量和较长的使用寿命。该单元装有一个拾取和放置转移头，它使用一个特殊的机器人驱动的手臂来安全地拾取每一个晶片并将其放入晶片盒式磁带托盘中。拾取放置机器人使用定制设计的高速视觉机器，准确识别盒式磁带中正确的晶圆，确定基板相对于机器人手臂的确切位置。晶片以每分钟100-300份的速率精确放置在腔室中，定位精度小于0.02mm。ASYS LSB 03还配备了气密盖，以保护晶圆免受环境污染。集成了真空工具，在必要时对晶片进行安全抓握，同时在晶片周长周围设置一系列压力传感器，以确保精确和可重复放置。可选的冷却设备允许基板的快速冷却和温度控制分布。这减少了冷却所需的时间，因为多个晶片可以同时放置在单个冷却板上。LSB03非常用户友好,具有15英寸彩色触摸屏显示屏以及图形用户界面和直观控件。该模型旨在与现有的ASYS自动化解决方桉集成,提供额外的功能层和效率。该设备还支持远程诊断和维护,有助于最大程度地减少任何潜在的停机时间。LSB 03非常适合需要快速、精确晶圆处理的应用，如半导体生产和晶圆级集成。该系统允许高吞吐量、提高生产率和提高准确性。适用于清洁室和真空应用，有单臂和双臂两种配置。