二手 ASYST 0190-11409 #9095774 待售

ASYST 0190-11409是专门为半导体工业设计的晶圆处理程序。这种装置提供了一种在整个光刻过程中快速移动晶片的有效方法。它可以支持不同种类的晶圆尺寸、厚度和基材。0190-11409可处理直径达25英寸、厚度达0.25英寸的基板。其设计支持96个井平和5"至8"晶圆平，速度高达200毫米/秒。它可以与单卡盘或双卡盘一起使用。双卡盘在处理多种尺寸的晶圆时提供了更高的吞吐量。它还支持人工转移4个小单位或一个大单位，用于装载应用。ASYST 0190-11409使用步进电机来驱动晶圆的运动。该电动机由无刷伺服电动机提供动力。传感器和控制系统已集成到设计中,能够检测和响应各种条件,从而可以在晶片移动时对其进行精确控制。0190-11409包含一个用户友好的介面来进行程式设计。它包括用于设置光刻程序的设置菜单,以及用于输入命令的显示和键盘。处理程序可以设置为将晶片从一个卡盘转移到另一个卡盘，将晶片从一个碗移动到另一个碗，或者将晶片移动到舞台上和舞台上。ASYST 0190-11409包含一个强大的安全系统,可监视电流、温度和扭矩。它还包括可以检测和响应晶圆表面变化的自校准传感器。0190-11409还设计为ESD安全,可用于对ESD敏感的应用程序。总体而言，ASYST 0190-11409晶片处理程序是一种可靠、高效的设备，可提供快速、精确的晶片传输。它易于使用的接口和坚固的安全系统使其成为半导体行业的绝佳选择。