二手 ASYST 12000-002 #9013356 待售

ASYST 12000-002 Smart Vacuum Handler是一种精密晶圆和基板处理设备,设计用于对半导体和光伏电池制造过程参数进行严格控制。自动化平台的设计旨在执行有效晶片运输所需的所有功能，包括晶片装卸、晶片单选、晶片对准和晶片夹紧。它可以配置多个真空室和端口班车，并且可以与上下游模具进行连接，以达到最高水平的生产率和生产质量。12000-002采用高精度、非接触式Z轴测量系统,旨在确保精确控制晶圆厚度、晶圆经度和整体平整度。通过与平台上的其他系统协同工作,Z轴测量单元可实现一致的晶圆处理结果。机器还延长晶圆寿命，最大限度地减少机械接触造成的损害。晶圆和基板传输通过八轴配置实现,该配置提供快速、精确的"拾取和放置"运动。该工具的运动范围很广，最大可达190毫米的横移，并且控制严密的行进速度可达2 m/s。此外，平台利用单个运动轴使用轨迹规划安全地加速、减速或移动每个晶片。ASYST 12000-002具有强大的结构和集成的温度控制功能。平台温度精确维持在20°C至40°C的范围内。温度还可以通过工艺变化实时调节，确保资产的最大安全性和可靠性。为确保晶圆的可靠处理,该操作龙门设计用于快速、集成的真空控制.采用全封装真空模型，保证最佳气流、最小噪声和真空水平的精确调整。多级真空设备还可确保多个晶片的过程均匀性。12000-002具有高级编程功能,能够高效集成到各种半导体生产过程中。平台可以使用G-code或定制的控制语言进行编程。这允许在专门的流程中进行系统配置,从而实现最高级别的自动化和吞吐量。该单位还配备了操作精度综合监控机器。通过机械和电子传感器的组合，监测工具提供晶圆对准和位置的实时反馈。这样可以快速排除故障并优化过程控制,从而获得最大的产量。ASYST 12000-002 Smart Vacuum Handler是一个先进的晶圆和基板处理平台,能够精确控制半导体生产过程参数。其先进的功能可实现高效的自动化和高度可靠的晶圆传输,通过高效集成到各种半导体工艺中来确保最大产量。