二手 ASYST 12000-004 #9111130 待售

ASYST 12000-004是一款先进的晶圆处理程序,旨在提高晶圆吞吐量、提高精度和改进半导体制造过程中的工艺控制。这款晶圆处理器配备了最新一代的低摩擦驱动技术，在晶圆传输和运动过程中实现了更高的速度运动和更高的精度。这种先进的设备经过专门设计，便于严格控制关键的制造工艺，包括CVD、蚀刻、光刻和扩散。12000-004有一个八级晶圆存储托盘，最多可以存储600个晶圆。这种增加的存储容量有助于方便地访问大量预处理的晶片,这对于大批量生产可能至关重要。独特的托盘设计还允许批处理晶片快速重组，以实现快速、精确的后期处理。这个晶圆处理程序有一个完整的机器人外围设备阵列，以方便更快，更精确的晶圆处理。该系统的端部效应器包括升降机、晶片堆栈、晶片背板以及用于CVD、蚀刻、光刻和扩散过程的级。末端效应子设计为最大精度和严格控制晶圆传递和运动。ASYST 12000-004还包括工业计算机、可扩展软件包、集成电缆和电磁线轴执行器。为了增加安全和保护，该单元内置了安全互锁。此安全锁设计用于在操作过程中检测到异常情况时自动停止晶圆处理操作。它还确保机器在紧急情况和停机时的受控操作。12000-004配备了一整套诊断程序,可提供有关刀具性能的宝贵反馈,并帮助确定制造过程中可能出现的问题。诊断液晶屏还会查看资产的性能和运行状况,并显示重要的通知和警报。在性能方面，这款晶片处理程序能够将晶片定位在± 0.3微米的公差。快速精确的晶圆运动是用先进的运动控制模型完成的，设备的运动范围为260毫米（x轴）、180毫米（y轴）、115毫米（z轴）。这个系统也有不到1.5秒的循环时间，使其成为市场上效率最高的晶圆处理器之一。ASYST 12000-004是一个先进的晶圆处理单元,旨在提供准确、快速的晶圆处理,同时确保最高级别的过程控制。它有各种各样的机器人外围设备，一个诊断液晶屏幕，和一套全面的诊断软件。它能够以亚微米分辨率提供高度精确的晶圆运动，其循环时间是业内最快的。总体而言，12000-004是现代半导体制造快节奏、大容量需求的理想晶圆处理程序。