二手 ASYST 2150 #145900 待售

ASYST 2150是一款模块化、用途广泛的晶圆处理器，旨在满足半导体行业自动化晶圆处理应用的需求。2150是一种快速、高效、精确的晶圆处理器，能够处理直径达150毫米的基板。ASYST 2150可以水平或垂直安装并集成到生产线中。为了便于访问,2150可以配备符合人体工程学的升降机功能或倾斜框架选项。它还具有可选的触摸屏控制面板,以增强可用性。此外,外壳还可以保护其免受灰尘、任何机械应力和静电放电的影响。ASYST 2150采用高分辨率直线电动机设计,可实现超精确定位。这款马达还能处理多达4个运动轴，最高转速为10厘米/秒。2150利用快速、动作驱动的晶圆传输技术,具有独特的"EZ-Live"机制,使其能够处理单晶圆或多晶圆传输。该系统减少了周期时间,同时提供了最佳精度,以减少制造缺陷和废品率。ASYST 2150还有一个安全的直通顶板输送机，提供高效的多晶片装卸。2150还有一些安全和监测选项，以确保其可靠的性能。一个可选的基于软件的应力控制系统将监控晶片负载均匀应力，确保晶片处理安全稳定。此外，ASYST 2150还内置了带有可选报警的故障检测系统。这使操作员能够快速检测任何故障并采取适当的纠正措施。总体而言，2150是一个可靠和高效的晶圆处理程序，能够处理各种各样的基材。其模块化结构和坚固的特性使其成为自动晶圆处理应用的理想选择。有了一系列可用的选项,就可以轻松设置并集成到现有生产线中,从而实现可靠的运行。