二手 ASYST 2150H-VIII #9136633 待售

ID: 9136633
Wafer Handler Fan assemblies.
ASYST 2150H-VIII Wafer Handler是专为半导体器件的包装和加工而开发的全自动真空处理设备。这个最先进的系统由接口机器人、真空轨道、舞台运动单元、处理程序和自动晶圆对准机等一系列模块化组件组成。接口机器人从轨道接收晶片,使用步进柱对其进行对齐,并将其置于下面处理程序中的合适位置。真空磁道以最大140晶片/分钟的速率接收多达200个晶片的盒式磁带。然后将晶片采用吸入和锁定原理,采用真空技术和锁存方式转移到车载机器人身上。Stage Motion Tool是一种多轴资产,由线性执行器、旋转和倾斜级以及轴编码器组成。该模型负责将晶片从轨道设备输送到处理程序。处理程序部分最多可支持400个晶圆和2个拾取头,允许同时传输多个晶圆。自动晶圆对准系统(Automatic Wafer Alignment System)是一种伺服驱动的机构,使用高精度的激光和对准的参考镜来定向晶圆。这样可以确保将晶片精确地放置到处理程序的各个阶段。晶片处理程序使用双臂转移单元,该单元牢固地固定在晶片上,并在各级之间携带。手臂精确移动,可以精确定位、操纵和对准晶片。机器人、轨道和对准机都是Wafer Handler 2150H-VIII技术的一部分,它使高速晶片的生产成为可能。机器人控制系统的速度,允许更大的控制和精度的工具。该资产具有可变性功能,允许用户在低速和高速过程之间切换。2150适合大批量製造,可处理高达8吋的大幅面晶片。ASYST 2150H-VIII是市场上最先进的晶圆处理机,为半导体行业提供了最高的精度和生产速度。该模型有助于提高晶片的生产速度,对整个生产过程给予更大的控制,并确保生产可靠和高质量的半导体器件。
还没有评论