二手 ASYST 300FL #46075 待售

製造商
ASYST
模型
300FL
ID: 46075
new Front end with Robot Controller track, load pods, pre aligner. All SW and HW, mates with KLA products AIT XUV, or AIT UV, or PUMA 9000 or ATI III, or AIT XP.
ASYST 300FL Wafer Handler是专为半导体制造加工而设计的机械臂。该设备提供精确的机器人移动,以确保晶片在任何预编程处理站上的准确和一致的放置。晶圆处理程序利用一系列协调的运动,包括线性和旋转,在加工过程中准确可靠地移动晶圆。处理程序提供高速、可重复的运动,并且能够在不到200毫秒的时间内精确定位晶圆。该单元配有可处理多达300毫米晶圆的端效臂,精度公差为+/-25微米。处理程序具有模块化体系结构,可以定制以满足特定的应用程序要求。它的模块化设计还可以容纳一系列选项。它能够同时处理一到四个晶片,并且可以与一个附加传感器连接以进行对准。整个系统由PLC和简单的机械结构控制,包括多个传感器和极限开关,以获得卓越的晶圆处理性能。300FL Wafer Handler专为恶劣的环境操作而设计,为半导体加工提供卓越的性能。它几乎可以在任何温度和湿度范围内运行。此外,它的设计确保了对灰尘、水分和其他环境污染物的高度保护,从而能够稳定和可靠地运行。该单元还配备了一个内置的自我诊断机器,用于维护和维修服务。总体而言,ASYST 300FL Wafer Handler是一种坚固的工具,设计用于半导体生产过程中精确一致的晶圆处理。它专为准确性、可靠性和寿命而设计,并提供多种选项和可定制的组件。凭借其先进的设计,它能够在毫秒内准确定位晶片,从而实现高性能、流线型和自动化的生产过程。
还没有评论