二手 ASYST 300FL #9255540 待售

ASYST 300FL是专门为在半导体晶片上制造集成电路（IC）而设计的自动化晶片处理设备。300FL是一种高精度仪器，提供准确可靠的晶圆传输和对准操作。它使用专有的二维（2D）晶圆传输模块，允许快速初始化和灵活操作。ASYST 300FL采用视觉系统,利用标准化算法对晶圆进行精确对准和放置。该装置能够达到高达1.5µm的准确率，适合精细的制造工艺。视觉机还提供了全面的晶圆放置、旋转和枕形矫正功能。此外,300FL还配备了一系列现场传感器,可监控晶圆吞吐量并进一步提高工具的性能。ASYST 300 FL的灵活性通过其可重新配置的设计得到进一步扩展。它可以很容易地重新配置，以适应不同的晶片大小和同时处理多达两个晶片。这允许更高的吞吐量和更大的容量。此外,其强大的设计确保了高度的可靠性和较长的产品寿命。300FL能够在载波盒和加工机或模块之间传输晶片。晶片处理资产可以在几分钟内将晶片进出盒式磁带。它还为晶片的自动化和手动装卸提供了选项。ASYST 300FL旨在在整个IC制造过程中与许多现有系统接口。它带有直观的用户界面,易于访问模型参数。此外，还包括控制和通信协议，以促进在生产环境中与其他仪器的集成。300FL被设计为在峰值效率和尽量减少操作员干预。设备能够独立监测其操作参数并向操作员报告这些参数。这提供了对系统质量和运行的宝贵洞察,并有助于确保低停机时间,同时保持高吞吐量。