二手 ASYST 300FL #9255542 待售

ASYST 300FL是为半导体工业设计的晶圆处理器。它是为满足晶圆运输和加工的最高要求而开发的灵活、自动化的设备。300FL利用机器人臂的一系列并行阶段，在加工站之间提供多个晶片的高速装载、卸载和运输，同时提供多格式设计，允许精确、安全地处理裸露、碰撞和包装的晶片。ASYST 300FL的机器人臂由提供低速、高扭矩和低噪声性能的直驱电机驱动。这样可以在整个晶圆传输系统中实现精确的速度和运动,最大速度为200 mm/s,可重复性为± 0.5 mm。机器人手臂的三轴运动给了单位极大的敏捷性，控制高度可配置和可编程，使操作员可以根据工艺要求调整运动。有了可选的晶片卡带转移站,操作员可以完全控制处理周期,并能够指定应从卡带上的特定位置获取的晶片类型。总共，300FL最多可以容纳100个晶圆（125毫米或150毫米）在四个盒式磁带位于中转站。自动化生产周期每个周期最多可执行22个离散步骤,使机器非常适合复杂的包装和碰撞过程。除晶圆处理工具外，ASYST 300FL还包括多种功能，使其成为半导体制造的一个有吸引力的解决方桉。该资产包括以太网连接,便于模型控制,并带有直观的图形用户界面（GUI）,使操作员能够快速配置设备、运行测试和查看系统信息。此外，该单元还包括高级安全功能，如互锁安全包层、紧急停止开关和多个独立的安全子系统。总而言之，300FL是一个可靠和灵活的晶圆处理半导体行业。由于其高速、精确和安全的性能,该机器提供了理想的特性和性能组合,使其成为复杂晶圆传输和处理操作的有吸引力的解决方桉。