二手 ASYST 9700-4680-01 #293759894 待售

ASYST 9700-4680-01是一种晶圆处理程序,旨在为各种基板提供可靠和安全的传输。它能够处理直径最大为300 mm的晶片。该晶片处理程序基于一种高精度线性电机设备，该设备由交流伺服电机、精密滑动台和编码器组成。其先进的线性运动控制系统确保了晶圆传输操作的稳定平台以及精确、可重复的晶圆处理系统。该晶片处理器配备了集成监控单元，包括操作员接口以及异常高速、异物和异常速度操作的检测系统。它还提供了防止在轨道上和轨道外晶片的保护。检测系统能够检测到任何表面异常，并能阻止晶片被转移。9700-4680-01利用高效真空机械夹持机进行晶圆处理。它有一个晶圆握把板，使用高精度线性电动机在X和Y轴中移动。它还包含一个插入/收集处理机制，能够在不诉诸高真空压力的情况下固定晶片，从而防止不必要的晶片损坏。晶圆处理程序配备了红外安全工具，确保操作员不暴露于任何危险环境中。它能够提供低温烘烤操作，以及在正负压力环境中操作。此晶片处理程序包含诊断软件,该软件设计用于检测任何潜在故障并向操作员发出问题警报。它还包括晶圆传输操作的动态速度控制，大大提高了过程的重复性。此外，该晶片处理程序还具有集成的数据存储资产，可存储所有工艺条件和晶片大小信息以供将来参考。该模型还可用于监测历史数据，增强晶圆处理过程的可追踪性。ASYST 9700-4680-01是一个可靠且用户友好的晶圆处理程序,非常适合各种不同的应用程序。它旨在提供高效、高精度和可重复的晶圆处理能力，并且可以快速适应不同类型的基板和应用。