二手 ASYST 9700-6148-01 #9095779 待售

ASYST 9700-6148-01是一款机器人晶片处理程序，用于半导体工业中处理8英寸晶片。它设计用于100级洁净室环境中操作，适用于晶圆处理以外的许多操作，包括烘烤、探测、测量和分类任务。晶圆处理程序包括一个主机器人组件、一个自动安培器提升单元和一些外围部件，包括视觉设备、空气阀、阀门组件和视觉系统。中央机械臂能够沿着所有三个轴精确运动，使其能够快速准确地操纵最大直径200毫米的晶圆。自动放大器升降机单元提供了8英寸晶圆在垂直方向上的一致、可重复和受控的运动，使它们能够高效地从晶圆处理程序中加载和卸载。9700-6148-01晶片处理程序还具有视觉系统,用于在处理前后对晶片执行晶片检查和测量过程。视觉单元具有强大的变焦、记录和分析功能，并辅之以一系列的照明方式，可以进行各种不同的检查和测量任务。晶圆处理程序的外围组件进一步增强了其功能。空气阀可实现晶圆室框架间的运动和晶圆传输的自动化，而阀门组件则可精确选择和操纵晶圆位置。视力系统在传输操作中用于验证晶片位置，并确保没有溅射、污染和边缘损坏。最后,ASYST 9700-6148-01被设计为一种可靠而坚固的机器,能够在清洁室环境中执行晶圆处理任务。为了满足这些要求，其组件、通信机器和过程控制软件经过专门设计和测试，以满足晶圆处理和处理的最高标准。