二手 ASYST 9700-6208-01 #9194811 待售

ASYST 9700-6208-01晶片处理程序是一种半导体加工工具，旨在帮助在IC制造过程中自动操作和运输晶片。此处理程序旨在解决晶片处理中面临的许多挑战,如吞吐量低、晶片排队和传输过程中晶片错位。处理器由支撑前端和后端效应器的基帧组成,后者又提供晶圆传输以及晶圆拾取和处理。底架还容纳了控制器和支持执行器,这些执行器允许终端效应器移动。末端效应器配有两个晶片处理机构-真空吸盘和晶片工具，以方便晶片操作以实现完美的晶片传输。9700-6208-01由运动控制卡驱动。运动控制卡使用步进电机,以确保端部效应器和晶片的精确位置和运动。这些步进电机有两个版本：（1）具有更高的扭矩和更长的冲程，用于斜坡和定位应用；（2）具有高速和更短的冲程，用于快速、可靠的晶圆传输。两种版本的步进电机都是温度补偿的，设计用于可重复运动控制。晶圆处理程序还具有用于晶圆处理的内置安全系统。安全系统包括传感器,用于检测某物何时干扰晶圆传输。传感器连接到联锁装置,以便在发生意外阻塞或障碍物时切断步进电机和端效应器的电源。此外，晶圆处理器还有传感器，用于检测处理过程中有意外热量或压力时。ASYST 9700-6208-01晶圆处理程序是一种高效可靠的IC制造工具。它提供了一个高度可重复的晶圆传输和处理过程，减少了排队和错位的可能性，并消除了手动晶圆操作的需要。集成安全系统在处理过程中可防止堵塞和过热,以防止晶片和工具本身受到潜在损坏。