二手 ASYST ARM 2150H V111S #180694 待售
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ASYST ARM 2150H V111S晶片处理机是一种半自动机器人设备,设计用于运输、检查和定位直径不超过300毫米、重量不超过25公斤的硅晶片,用于生产精细蚀刻的高精度元件。ARM 2150H V111S能够将半导体晶圆盒从一个机械处理器移动到另一个机械处理器,从而使单个操作员能够同时执行多个功能。使用最先进的光学器件、压力监测和温度传感器对晶片边缘进行损坏监测,并检测扭曲和扭曲晶片,以改进晶片处理。将晶片放在隔离的剪刀升降机上,提供一个平滑安全的环境。ASYST ARM 2150H V111S配备了全方位的运动和抓握技术,包括六个自由度的机械臂、0.5克的跟踪力、自动重新定位系统和65公斤的最大起重能力。这些功能允许快速的晶圆处理和精确的定位教程,即使在极其狭窄的空间中工作也是如此。晶圆处理机器人单元配置了最新的传感器技术,为潜在用户提供扩展晶圆操作、测量和测试功能的能力。ARM 2150H V111S带有高级平移、旋转和光学传感器,可测量和报告诸如间隙测量、间隙误差、深度误差和焦点误差等参数。ASYST ARM 2150H V111S还配备了具有自动调谐功能的高级驱动器,即使在高速下也能实现精确一致的晶圆处理和定位。此外,先进的机器人控制器能够运行高级算法来确定最佳的抓握方式和定位策略。所有这些功能使ARM 2150H V111S能够以准确、高效的速率处理晶片,并具有最大的性能和可靠性。其多功能设计适合各种半导体生产,使其成为任何行业的绝佳解决方桉。
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