二手 ASYST ARM 2200-V111S #129936 待售

ASYST ARM 2200-V111S Wafer Handler是一款功能强大、经济高效的机器人设备,旨在满足半导体及相关行业的需求。系统是双臂单轴晶圆处理程序。其主要目的是将晶圆从一种工艺工具传输到另一种工艺工具。ASYST ARM 2200 V111S配备两个独立的机器人手臂。每个机器人手臂都有五个自由度，使用最先进的精确运动控制和力反馈技术来进行精确、可重复的运动。运动控制单元由伺服电机驱动，伺服电机与精密轴承耦合并附接到铝制底座上。扩展机器是容易的，因为每个手臂可以很容易地添加或删除，这取决于工艺要求。可选的晶圆穿梭机可用于自动晶圆传输。这个穿梭机能够一次携带多个晶片，允许更快的晶片处理过程。配有视觉传感器和自动晶片处理过程，穿梭器可以被编程为将晶片从一个工艺工具移动到另一个工艺工具。ARM 2200-V111S设计用于在清洁室环境中工作,并且与大多数标准工艺工具兼容。它还配备了激光干涉仪工具（LIS），用于精确对准和晶圆定位。LIS包括两个可调通道，每个通道都有激光和光学探测器对。该资产还包括一个基于Web的远程服务接口,用于实现远程访问和诊断。此接口允许远程故障排除、编程和维护。此外,该模型还具有外部自动化系统的用户可选切换功能。ARM 2200 V111S可靠可靠,是各种操作的绝佳选择。此外,它的模块化设计使其易于集成到现有的制造操作中。这使得它成为需要精确可靠的晶圆处理的各种行业的理想选择。