二手 ASYST ARM 2200-V111S #9267066 待售

ASYST ARM 2200-V111S是一种用于半导体晶圆传输和操作的晶圆处理器。ASYST ARM 2200 V111S由具有集成真空卡盘的圆形臂和可在X、Y、Z轴上移动臂的线性滑轨组成。手臂由PLC控制器控制，并通过可编程键盘编程，还配有集成安全联锁设备，防止意外操作。手臂被包裹在一个不锈钢车身周围有一个系统的定制设计的气动波纹管的机构。波纹管保护机构不受颗粒、污垢和其他碎片的影响，而且还降低了晶圆传输的噪声水平。手臂配备了非接触式分离机构和制动带单元，以确保晶圆的安全运输。使用集成真空卡盘将晶片加载到臂上,该卡盘从负载端口中拾取晶片并沿臂的轨道移动。手臂具有极大的柔韧性，可以在X和Y方向上精确移动。此外,ARM 2200-V111S还内置了数据管理软件。软件实时监控晶圆传输过程，还存储晶圆配方，以最大程度地减少加载晶圆时的设置时间。机器还具有自动传感功能,可自动为晶圆选择正确的负载端口大小。ARM 2200 V111S是一款最先进的晶圆处理器,在设计时考虑到了最大的效率。它能够处理范围广泛的晶片尺寸和材料，操作上既精确又可靠。此外,集成的安全功能和数据管理功能使ASYST ARM 2200-V111S大容量晶圆传输应用的理想解决方桉。