二手 ASYST ARM 2200 #9189323 待售

ASYST ARM 2200是一种晶片处理程序，设计用于将300 mm半导体晶片从晶片晶片中的过程移动到晶片晶片中的过程。它能够一次处理多达两个晶圆面，是多层晶圆工艺的理想之选。该晶片处理器设有固定的内部传递室，设计用于超低粒度和污染控制，以确保晶片的完整性。该装置采用重型倒Z型臂，可在垂直平面上移动，并具有可调的操作技术，可与任何扁平晶片配合使用。为了快速运行，该装置采用E3电动机，使臂能够快速地将晶片从输入工作站移动到输出工作站。对编码器设备进行了优化,使其具有高精度和可重复性,以确保操作的准确性.这个晶圆处理器还有一个陶瓷室，可以延长工作周期时间，减少频繁清洗的需要。此外，采用多区温度控制来实现不带温度条件的均匀温度分布。ASYST ARM-2200具有一个特殊的真空系统，该系统设计用于在进程之间转换时安全地保持和移动晶片。气垫还用于确保晶片在低压过程中牢固地保持。该单元还提供自动对焦、晶圆定心、自动温度调整和无应力HOLD/RELEASE操作。这使得在工艺之间传输薄晶片时能够实现精细的位置精度。晶圆处理程序采用坚固耐用的不锈钢底盘，可以长时间使用。它还具有无接触晶片安装适配器和双电机晶片转换机,以提高性能。ARM 2200的集成控制单元具有图形用户界面（GUI），便于单元操作。该单元还附带软件更新,并包含实时监控和诊断功能,以提高可靠性。