二手 ASYST Axys 21 #9283263 待售

ASYST Axys 21是一种晶圆处理程序,设计用于在工业级制造环境中自动装卸半导体晶圆载波。结合先进的机器人运动控制和气垫精度，Axys 21可以方便电子束和离子植入器，以及各种其他晶圆处理系统。这确保了各种尺寸、重量和形状的晶圆载波的安全可靠的操作。晶圆处理程序配备了精密的视觉系统，以极高的精度定位和抓取晶圆。重型无刷（BLDC）电动机提供稳定而平滑的运动，而嵌入式光学线性编码器则有助于保持定位精度。为防止晶片损坏，移动晶片载体的航天飞机使用气垫提升机构。升降机最高可支撑30千克，在0°C至40°C的温度下运行。ASYST Axys 21还采用了集成晶圆清洗解决方桉以及集成的刷座清洗滚筒和液流设计。Axys 21还具有直观的触摸屏控制面板和用户友好的图形用户界面,便于操作和监控流程状态。内置安全功能包括电源故障报警、气压损失和手动操作。它还包含检测晶圆阻塞、晶圆未对准和其他潜在故障的传感器。此外,晶圆处理程序还包括一个E2紧急停止选择器作为附加的保护措施.ASYST Axys 21与大多数行业标准半导体制造商和工艺模块兼容。该系统的标称周期时间为1.2秒,可提供多达1,000个晶圆载波和可选装载器的容量。此外,它还旨在最大程度地减少流程停机时间,提高整体流程效率,并降低维护成本。简而言之，Axys 21是一款先进的晶圆处理程序，旨在为广泛的应用自动加载和卸载晶圆载波。它包含一系列复杂的运动和安全功能,以确保可靠和安全的操作。