二手 ASYST Axys 21 #9293393 待售

ID: 9293393
Robots for AMAT / APPLIED MATERIALS Excite Part number: 12000-031.
ASYST Axys 21是一款面向半导体和生物技术行业的高性能晶圆处理器。它旨在提供最佳和可靠的晶圆处理和长途运输。该设备为处理各种应用中的晶片提供了一个干净、高效和安全的环境。Axys 21融合了多种特性,如负载锁、处理室、传输模块和序列控制器。负载锁用于保护精细晶片在运输和储存过程中免受环境污染。该工艺室允许在晶片级操纵晶片。由于3轴伺服驱动系统能够实现平稳、准确的传输,因此传输模块可实现晶圆在远距离上的精确、无污染的传输。最后,序列控制器提供了一个方便的命令驱动界面精确和可重复的处理晶片。ASYST Axys 21单元的主要优点是精度、重复性和污染控制。其三轴伺服驱动的机器和可重复运动,确保晶片的处理准确且污染最小。负载锁定特性提高晶圆纯度,消除外部污染进入工作环境的风险。此外,运输模块确保晶片在很长的距离内被精确地转移,并且污染最小。最后,Axys 21高度安全可靠。其容错设计和集成安全系统确保晶片的处理安全、准确。此外,该工具还包含各种传感器和诊断程序,以便检测错误并最大程度地减少任何潜在损坏。总之,ASYST Axys 21是一款顶级晶圆处理程序,提供高效、准确、安全的晶圆处理。它内置的特性如负载锁、工艺室、传输模块和序列控制器有助于其清洁和无污染的过程。此外,它的准确性、可重复性和安全控制使其成为长距离处理精细晶片的理想资产。
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