二手 ASYST Custom #293657970 待售

ASYST Custom是一种最先进的晶圆处理程序,专为处理各种类型的晶圆基板和材料而设计。它被用于半导体晶圆的生产和制造，半导体晶圆是制造集成电路的关键部件。此处理程序采用模块化设计,可以灵活地进行生产,并能够快速适应不断变化的客户需求。Custom配备了一系列功能,可提供高效、安全的晶圆处理设备。首先，处理程序包含晶片边缘检测器，用于检测晶片进入处理链前的特征。它还有一个集成的RFID扫描系统，可以快速对不同的晶片类型进行排序，并识别每个晶片的来源。这允许在生产出现故障时快速召回。其次，该处理器采用先进的主动隔振系统，确保晶圆加工过程中的稳定性和低振动功能。该单元还包括腔室两侧的气锁系统，以防止晶圆温度和湿度在转移过程中发生剧烈变化。该处理器的主动定位系统采用高精度直线电机运动技术制造。这项技术提供了晶片的平稳和准确的处理，即使高速处理。处理器的关键部件，如机器人和执行器，采用力感应技术来确保晶片的高精度对准。最后,ASYST Custom的自动清洗机设计用于完全清洁与晶片接触的所有表面,包括机器人、真空卡盘和输送机。这有助于防止灰尘和其他颗粒进入工艺室，从而可能对敏感部件造成损坏。最后，Custom为先进集成电路和半导体的生产提供了可靠高效的晶圆处理解决方桉。它提供了许多为安全和易于处理而设计的功能,包括晶片边缘探测器、集成RFID扫描、高级主动振动隔离以及自动清洁工具。