二手 ASYST DP2200SI #9153350 待售
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ID: 9153350
晶圆大小: 6"-8"
Wafer sorter, 6"-8"
Installation base
BROOKS Wafer sorter:
(8) 2010/10 TSMC6 SCS2000
(4) 2011/03 TSMC8 SCS3000
(4) 2011/05 UMC8A UL-408
(4) 2012/06 UMC8S SCS3000
(3) SCS408
(3) 2013/04 SKY SCS2000
(1) 2014/8 HHGSMC SCS3000
PST Wafer sorter
(2) 2010/01 UMC8A DP2200SI/INX
(6) 2010/10 TSMC6 DP3200SI/INX
(1) 2013/02 VIS2 DP2200SI
(1) 2013/04 SKY DP1200SI/INX
(1) 2014/01 UMC8E DP3200SI/INX
(11) 2014/06 SMIC15 DP2200SI/INX
(5) 2014/08 TSMC10 DP3200SI/INX
Instrument mini-environment:
Clean air
Over-pressurization in robotic handling areas
Wafer Handling / Identification:
(2) Pods / Cassette
Cassette scanning with cross-slot detection
Vacuum probes with wafer edge detection
Automatic wafer on probe centering
Optical, non-contact, Flat/Notch finding with eccentricity correction
Supports COGNEX 1721/1741/WinOCR32/AcuReader3/WinNT system
User Interface:
Small-size PC style keyboard
Optional: SECSII/GEM interface
UI: WINDOWS XP
Wafer and system damage preventions:
Pod / Cassette in place sensing
Cross slot detection
Vacuum sensing electronics
UPS / Vacuum reservoir system
Optional wafer out of cassette sensing
Cleanliness:
Class M1 (0.01 particles at 0.02 micron per pass)
Flat / Notch finder accuracy:
± 2.0 degrees in theta
± 1 mm in centering
Vacuum: 23 ± 3 inches Hg (-0.7 x 105 Pa = 20.7 inches Hg)
Temperature: 23° ± 3°C (73.4 ± 5.4°F)
Power requirements:
100–120 Volts, 50/60 Hz, 1500 Watts maximum
200–250 Volts, 50/60 Hz, 1500 Watts maximum.
ASYST DP2200SI Wafer Handler是一种超精确传输设备,旨在方便半导体晶片在一系列应用中的移动。它拥有先进的驱动系统，可以沿着x、y和z轴精确控制，使得晶圆运输过程中的可靠性达到最高标准。其精密的控制器允许与现有晶圆加工生产线合并，提供与各种制造设备的无缝集成。在尺寸上，运输单元紧凑却能处理直径达115mm的基板。它专为加工双面晶片而设计，因此半导体晶片的生产可以最大化，从而提高吞吐量和效率。在安全方面，运输机器设计有保护性的内部结构，以防止晶片与外部零件接触，确保晶片保持无污染。这也确保在处理过程中不会对晶片造成损坏。该工具具有广泛的适应性工具，使其适合各种应用。这些工具是可互换的,在设置和执行过程中具有最大的灵活性。此外，资产还配备了监测检查设备，提供额外的安全和准确性。DP2200SI Wafer Handler是一种高效的机器,采用业界领先的精密技术进行设计,以最大限度地提高晶圆的产量。它需要最低限度的维护,并提供完全自动化的过程,这意味着只需极少的操作员干预即可处理生产。更有甚者，机器过于安全可靠，防止了晶片的损坏和污染，使得这台机器异常有效。
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