二手 ASYST INX 2200 EXT #9103790 待售

ASYST INX 2200 EXT晶片处理程序是一种自动化、灵活、可靠的晶片处理设备,专为高吞吐量和高效生产基本线性和随机任务而设计。该系统设计用于一次处理多达25个晶片，提高晶片处理时间和精度。该单元由一个带有晶片载荷臂的机器人臂、一个水平载荷口和一个由图形用户界面控制的机械臂机组成。机器人臂由直观、用户友好的GUI控制，使操作员能够快速、轻松地设置处理参数并命令机器人序列。机器人手臂由步进电机驱动，能够达到高达每分钟24米（m/min）的速度。机器人臂配有载荷臂，能够携带多达25个晶圆，从而实现高效、精确的晶圆对准和转移。负载臂设计为易于调节，可针对特殊晶圆夹具进行改装。该工具还包括一个水平载荷端口，该端口允许加载、卸载和传输处理过的晶片。负载端口与各种晶片盒带和盒带支架兼容，设计为一次高效传输多达60个晶片。负载端口连接到机器人手臂，由皮带和滑轮资产驱动。该模型还包括集成过程控制，允许用户监控加工条件和加工晶片的质量。板载数据记录器允许用户快速查看和分析流程数据并设置自动化流程。设备包括内置的安全功能,如检测到非操作状态时自动关闭和无接触式安全传感器。INX 2200 EXT晶圆处理程序是一个可靠而健壮的系统，可以执行高吞吐量和精确晶圆处理任务。该设备用户友好的GUI、快速的处理速度和最多可携带25个晶圆的能力,使其成为大批量生产环境的理想选择。该机器适用于广泛的应用，包括半导体晶圆制造和光刻。