二手 ASYST INX 2200 #293588012 待售

ASYST INX 2200是一种晶片处理器，旨在将晶片移动、对齐、转移到各种半导体製造加工工具中，例如光刻、蚀刻、沉积工具。ASYST INX2200有两个由4个步进电机驱动的线性传输机构。它能够以1.0米/秒的最大晶圆处理速度运行，最大传输速度为6米/秒。晶圆尺寸从3英寸到8英寸不等，最大重量容量为2公斤。INX-2200具有多种内置的安全功能,包括在晶圆未达到传输目标时启动的自动关闭机制,以及停电保护系统。此外，该单元还配备了晶圆中心装置，可以旋转和定位晶圆，以确保晶圆的精确处理。还包括一个利用定心导轨的晶片加载系统，以确保将晶片精确放置到刀具中。ASYST INX-2200配备了多种控制系统和运动控制器，使其能够集成到各种各样的半导体加工工具中。这样就可以对设备及其功能进行精确和自动化的控制。控制系统还便于跟踪晶圆传输，以便能够报告过程控制和统计过程控制所需的数据。除了晶圆处理能力外，INX 2200还可以进行晶圆分离对准，以及工艺室空气过滤。这包括使用洁净室过滤器清洁空气，防止晶圆受到污染。这种过滤也有助于降低颗粒物污染的风险。INX2200采用模块化结构设计,便于安装、维护和升级。它还支持大型系统集成，如多腔室系统，其最先进的技术允许单元进行精确的晶圆处理操作。总体而言，ASYST INX 2200是一款可靠、精确的晶圆处理器，旨在满足半导体加工操作的苛刻要求。其先进的控制系统和安全特性以及模块化结构使其成为高精度晶圆处理应用的理想选择。