二手 ASYST INX 2200 #293632718 待售
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ASYST INX 2200是一种晶圆处理程序,设计时考虑到了高级操作的可能性和精确度。它配备了8管低压锁载设备,允许用户几乎无缝交换多达四个离散站的晶片。晶片通过使用精确定位技术,在真空室内安全安全地转移。这样可以确保每个晶片在传输过程中保持完美对齐,最大限度地提高晶片的产量。此外,该系统还配备了一个超低真空选项,即使是最精致的晶片也可以安全地运输。晶圆处理程序设计用于帮助进行最复杂的晶圆传输,可容纳300 mm大小的晶圆。这个强大的单元由许多专门的过程组成,如真空装卸、清洁、加工、冷却、烘烤和润滑。由于ASYST INX2200具有独特的功能,所有这些过程都可以快速准确地完成。Integrator机器人臂是INX-2200的另一个主要特征,它允许晶圆的运动具有更高的精度。除此以外,晶圆处理程序还带有多个视觉系统,可以主动观察机器人的运动,同时避免与其他部件的污染和碰撞。INX 2200还包括一台控制器机器,可以对所有相关活动和进程进行自动编程,为用户提供有效而灵活的控制体系结构。此控制器还能够访问进程数据,从而能够执行完整的配方脚本。最后,INX2200非常适合与其他设备集成,因为它可以无缝连接到现有系统,而无需额外的硬件或编程。此外,它还可以在广泛的气体、温度、真空和其他环境条件下运行,使其成为多种应用的理想选择。ASYST INX-2200凭借其先进的功能,是显着提高晶圆处理精度和速度的理想选择,有助于从精细晶圆传输中消除复杂性。
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