二手 ASYST INX 2200 #9175219 待售

ASYST INX 2200是专门为半导体制造应用而设计的自动化晶圆处理设备。它旨在实现晶片在加工室之间的高效和准确传输，从而提高吞吐量和提高产量。该系统包括两个主要组件：晶片装载机和晶片载波.晶片装载机用于将晶片准手动装入晶片托架。然后，晶片载体在垂直平面或水平面上穿越设备，使其能够到达操作平面上方和下方的腔室。该工具装有四个垂直场线圈和两个安装在垂直平面上的旋转传递臂。这些线圈和臂允许晶片精确定位在晶片处理夹具内。机器装有全自动晶片扫描，执行一系列扫描和佐证步骤，以验证晶片处于可接受的使用条件。扫描设计用于检测扭曲或破裂的晶片、颗粒、污染和任何其他缺陷。扫描和批准后,晶片会自动加载到晶片载体上,并准备好进行传输。ASYST INX2200中晶片的转移是使用两个独立的晶片卡盘完成的，这些卡盘配有力敏感探头。探头感应晶片的位置，因为它是从源被提起，并降低到目标。源和目的可以位于同一个会议厅或单独的会议厅。晶片卡盘还具有附加的自停用功能,以确保晶片牢固地固定在源位置和目标位置。INX-2200非常可靠，易于维护。它配备了故障诊断工具，便于识别和隔离任何问题。该工具还包括各种安全功能,如联锁,可防止资产在正确设置所有参数之前开始操作。ASYST INX-2200是高度可配置的,可以定制以满足每个应用程序的特定要求。它还具有直观的图形界面,便于学习和使用。总体而言，INX 2200是为高精度、高产晶圆应用而设计的先进晶圆处理模式。它提供了一种可靠、高效、准确的方法，用于在工艺室之间传输晶片。它配置性强，适合各种不同的应用，易于维护和操作。