二手 ASYST IsoPort #146783 待售

ASYST IsoPort是ASYST Technologies创建的晶圆处理程序，用于集成电路（IC）晶圆的移动和处理。IsoPort由许多不同的组件组成,这些组件都包含在一个独立的单元中。ASYST IsoPort是一个由两个主要组件组成的机器人单元-转移机器人和处理程序机器人。转移机器人有六个独立的铰接臂和一个冷冻真空。这是用来将IC晶片从一个生产站运输到集成生产线上的下一个生产站。处理程序机器人利用五个高度可靠的铰接臂将IC晶片从转移机器人移动到晶片装配区域。IsoPort的主要目标是精确、准确和灵活。因此，ASYST IsoPort具有晶圆图像识别设备，可以识别每个托盘上包含的晶圆数量，并检测基板中存在的任何异常。这样可以确保晶片能够快速准确地传输和处理。IsoPort还在机箱内拥有独特的红外温度控制环境。这样可以进行温度敏感操作,例如粘合,而不会损坏敏感晶片。机器人被编程为在转移或处理晶片时产生快速反应和"软"处理，以确保基板完整性不受损害。ASYST IsoPort还配备了三维映射系统，使机械臂能够准确定位晶圆。映射单元最多可以存储四种不同的生产配方,并允许用户为每个生产运行定义单独的映射选项。最后,IsoPort的设计考虑到了易用性。ASYST IsoPort的用户界面有小的图形图标，可以用来轻松控制机械臂。操作员还可以一目了然地以图形显示的形式检查整个生产机器的生产状态。总体而言,IsoPort是一款非常先进的高级晶圆处理程序,可为IC晶圆制造提供精确、精确和灵活性。它利用冷冻真空、图像识别、温度控制、制图和图形用户界面等多种技术，确保晶圆操作和处理高效进行，不会对敏感基板造成任何损害。