二手 ASYST IsoPort #293649502 待售

ASYST IsoPort是一款晶片处理程序，旨在方便半导体晶片进出真空处理工具。它是一个非接触、非真空、扫描的晶片加载站，可容纳6英寸和8英寸晶片。IsoPort的主要特点包括一个专利的硅尖端，它是一个软的，弹簧的微米尖端，在其正面（浅）边缘接合晶片，以及一个创新的热扫描仪机制，映射晶片尺寸。这样就可以机械地调整到不同的晶片尺寸，并提供安全、可靠的晶片进出真空加工工具的传输。ASYST IsoPort有一个专用的100微米大小的间隙，用于一次传输单个晶圆，不需要任何预先对齐或使用工具。取而代之的是，它依靠映射的热扫描仪数据在晶圆高速传输时保持精确的位置登记。晶圆处理程序使用彩色触摸屏显示屏与其主机设备进行通信，用户可以在其中进行控制和监控。IsoPort信号板还提供了在传输过程中可能发生的腔室锁定和卸载错误的直接直观指示。这使操作员能够快速识别和纠正错误。晶圆处理程序设计用于最小的地板空间,同时允许用户根据需要轻松调整模具和更换组件。ASYST IsoPort的不锈钢内部也允许它处理化学侵略性的液体，并测试暴露在严酷温度下的晶片。为了确保系统的最大正常运行时间,IsoPort具有各种内置设备诊断程序,包括监控和报告错误的自我诊断风扇。它还包括一个集成闭环反馈机与实时传感器更精确的校准和实时热电偶精确热传递晶圆。总体而言,ASYST IsoPort是一款多功能晶片处理程序,旨在提供可靠的性能和快速的晶片传输。其创新的热扫描仪和基于传感器的反馈系统允许在传输过程中精确定位，并允许用户实时监控该工具。IsoPort的设计目的是提供最大的资产正常运行时间和最小的占用空间设置。