二手 ASYST IsoPort #293668624 待售

ID: 293668624
Load port.
ASYST IsoPort是一款多功能晶圆处理器,专为各种半导体应用而设计。它能够将标准的200 mm、150 mm和125 mm晶片从一个晶片堆叠盒式磁带以精确和速度传输到另一个。IsoPort紧凑的设计允许它安装在多种位置,包括集群工具、独立晶圆转运站或晶圆处理机器人。它的可靠性和设计为各种设置提供了最佳性能。ASYST IsoPort已被证明具有很高的吞吐量速率,当配置了三个晶圆堆叠盒式磁带时,可提供144个晶圆/小时的最大吞吐量。由于占地面积少,其大型加工绞车可容纳120多个盒式磁带用于存储和传输。夹紧机构采用真空技术进行稳定可靠的晶圆输送。IsoPort还附带了其他关键功能,例如易于操作和最终生产效率的直观控制系统、各种报告选项(对手柄时间、输出、晶圆计数等的精确分析),以及端口隔离功能,以实现最佳的污染预防。它还配备了可选的惰性气源,用于晶圆处理过程中的环境控制。ASYST IsoPort的设计符合大多数OEM产品规格,包括终身保修,为客户提供更多的安心。它与洁净室设施兼容,可以在任何ISO 9类环境中使用。总体而言,IsoPort是一个高效的晶圆处理程序,为各种晶圆尺寸和组件提供可靠的传输。它方便用户且可靠,确保处理程序的设置和操作非常轻松。ASYST IsoPort是当今半导体行业的革命性创新。
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