二手 ASYST IsoPort #293768262 待售

ASYST IsoPort是用于生产半导体的自动化晶圆处理设备。该装置设计用于处理各种尺寸的晶片（包括6英寸和8英寸晶片），并将其放入工艺室。IsoPort由不锈钢构成，为晶圆传输提供稳定、安全、安全的环境。该设备能够以每小时124晶圆的速度运行，平均传输速率为每小时90晶圆。该装置的设计包括一个真空系统，有两个阶段，即拾取和放置晶片。这些阶段包括控制过程速度的驱动电机和负责抓取晶片的真空头。后一个组件设计为与任何前开口统一吊舱（FOUP）或扁平盒式磁带兼容。ASYST IsoPort为粒子计数、气溶胶、湿度和温度等所有关键过程参数提供低颗粒环境。该装置采用超洁净的内部设计，并配有用于探测颗粒的室内照明装置。IsoPort上的空气滤清机使用高效颗粒物空气（HEPA）滤波器来最大限度地控制颗粒物。晶圆处理机器人的设计进一步提高了晶圆处理过程的安全性。机器人拥有专用的运动光学系统，提供三轴传感工具，能够高精度识别物体。此资产包括一个可识别晶圆形状、大小和方向的视觉传感器,以及一个激光测距仪,用于测量机器人端效应器与晶圆之间的距离。机器人可以检测任何异常情况，并立即停止，以避免损坏晶圆。ASYST IsoPort配备了专为不间断运行而设计的高效容错控制模型。此功能可确保晶片处理程序能够通过电源故障、通信错误和环境干扰来运行。此外,该设备还具有直观、用户友好的控制界面,可以从计算机或控制控制台远程进行控制。总体而言，IsoPort是处理各种尺寸晶片的高效、可靠、安全的设备。该设备能够每小时处理100多个晶圆,并且可以为晶圆传输提供安全稳定的环境。ASYST IsoPort配备了各种安全功能，以保护晶片免受在处理过程中可能遇到的损坏或其他潜在危险。该装置还设计了高效的容错控制系统和用户友好的控制界面，使其适合各种应用。