二手 ASYST IsoPort #293768661 待售

ASYST IsoPort是一个自动化晶圆处理程序,用于在隔离环境中从晶圆盒式磁带传输晶圆。它拥有一系列集成的晶片载体和真空吊舱，可用于在晶片盒、加工工具和负载锁之间移动晶片。IsoPort还具有声音发射阻尼功能,在处理晶片的同时防止任何声音干扰。ASYST IsoPort使用坚固可靠的线性运动设备在盒式磁带、工具和负载锁之间移动晶片。这种运动系统以碳纤维为基础，使晶片得到快速准确的处理。该单元还具有用户友好的图形界面，并与各种自动化软件兼容，以实现更大的使用灵活性。IsoPort还能够在-20°C至55°C的广泛温度范围内工作，以确保在处理过程中环境完全隔离。ASYST IsoPort的设计也考虑到安全性。它设有一个自动门和自动关闭机，以防止任何事故发生在处理过程中。该工具还使用双入射探测器检测微电路的错位和寄生暴露，这有助于确保无错误晶圆处理。IsoPort还配备了保护力监控，可以防止由于过大的力对晶片造成任何潜在的损害。ASYST IsoPort还具有可配置的工作区,可根据用户的需要提供更大的灵活性。此外，还可以快速搬迁，必要时融入现有生产线。IsoPort也可用于其他几种应用，如存储和运输工具和干箱，以及处理液体化学品。总体而言,ASYST IsoPort在将晶片从晶片盒式磁带传输到加工工具并返回时提供了卓越的性能。它坚固可靠，界面友好，温度控制范围广。IsoPort还提供安全选项,例如自动关闭资产和强制监控,有助于确保晶圆处理过程中的准确性。对于那些需要自动晶圆处理和晶圆隔离的半导体行业来说，它是一个理想的解决方桉。