二手 ASYST IsoPort #293793872 待售

ASYST IsoPort是一个晶圆处理程序，旨在使半导体晶圆通过半导体制造过程所需的隔离阶段。它的特点是具有集成压力传感器的介电屏障，允许晶圆在整个隔离过程中保持在原位。IsoPort的设计目的是提供精确的隔离,具有令人印象深刻的+/-1.5°C的重复性和0.1°C的移动分辨率。晶圆处理程序配备了气动驱动的全范围运动臂，用于通过隔离步骤定位晶圆。ASYST IsoPort还具有定制设计的主动热平衡系统,可在晶圆的整个隔离过程中实现精确的温度控制和均匀的加热/冷却。此外，IsoPort提供了非凡的可靠性，能够在极端条件下运行，如高能沉积和宽热梯度。此外，晶圆处理程序与所有现有半导体工艺设备兼容，并与臭氧和高通量工艺室兼容。凭借其先进的功能,ASYST IsoPort在制造最先进的半导体器件方面提供了最佳的结果和卓越的性能。