二手 ASYST IsoPort #9128307 待售

ASYST IsoPort是一种晶圆处理程序,设计用于自动晶圆处理系统。IsoPort提供了一种在前开口统一吊舱（FOUP）中传输晶片的高度准确可靠的方法。ASYST IsoPort采用紧凑的设计,可轻松集成到现有系统中,轻巧的设计有助于节省宝贵的空间。IsoPort配备了专利隔离技术，有助于保持晶片装卸作业的清洁和无污染。它具有集成的静电放电（ESD）保护设备,以防止在操作过程中损坏敏感部件。该装置由功能强大、可靠的控制系统软件控制，可根据每一个安装的具体需要量身定制。ASYST IsoPort包括一个真空盒式传输单元（具有标准的洁净室兼容性），以优化晶圆传输和定位。此外,集成的easyFOUP界面使用户能够直接从晶圆处理系统中的各种流程工具控制IsoPort。ASYST IsoPort的设计和设计旨在确保最佳清洁、安全和可靠性。其先进的固态机器提高了性能,并为自动化晶圆处理系统的苛刻要求提供了高度可靠、低维护的解决方桉。IsoPort使用闭环反馈传感器监视和控制吊舱的位置，以提供晶圆的精确处理。该单元配备了一个室外适配器，设计用于室外安装，为用户和晶圆处理工具上的流程提供额外的保护。ASYST IsoPort是大型晶圆处理系统的理想解决方桉。IsoPort的创新功能和较小的占地面积使其适合从研发到半导体制造和测试等一系列应用。