二手 ASYST IsoPort #9189356 待售

ASYST IsoPort是一款高级遥控机器人晶圆处理器,专为高级半导体应用而设计。IsoPort是一种多功能晶圆处理设备,具有非对称负载端口和类似范围的低EMI、高精度运动技术。该系统允许多个大型晶片在广阔的工作区上快速、准确和独立地移动。ASYST IsoPort是一个气动驱动单元，能够以每小时54个晶圆的速度处理高达1,500毫米的方形晶圆。它由天花板和地板可安装组件构成，为用户提供对晶圆路径的终极控制。IsoPort利用独特的步进电机技术,允许以最小的振动和抖动精确定位和处理晶片。该机先进的数字伺服电机技术确保了低噪声、低振动的精确、高速运行。ASYST IsoPort得益于ASYST专有的静电保护（ESP）技术。与所有机器人操作单元一样，它的设计和制造采用了最佳的接地和运动隔离，以减少静电荷并使粒子远离敏感设备和过程。该工具还配备了测量晶片方向的运动学，并进行快速调整，使其始终保持完美对准。IsoPort的设计旨在满足半导体加工中不断增长的高生产率晶圆处理任务的需求。其坚固的结构和持久的组件在广泛的操作环境中提供卓越的性能和延长的耐用性。该资产还与先进的控制软件集成在一起,该软件提供全面的实时监视和数据记录功能,使用户能够快速识别和诊断晶圆处理模型中的任何问题。综上所述，ASYST IsoPort是一款卓越的遥控机器人晶片处理程序，能够以每小时54个晶片的速度处理各种方形晶片。它配备了先进的运动技术和静电保护，以减少静电荷。此外,此设备的机器人处理功能还与复杂的控制软件集成在一起,该软件提供监控功能和数据记录,使用户能够快速识别和诊断任何问题。