二手 ASYST IsoPort #9194229 待售

ASYST IsoPort是一种灵活可靠的晶圆处理设备，旨在提高半导体制造工艺的效率。它建立在先进的ASYST VTensor平台上，为晶圆映射、分类和封装的自动化提供单系统解决方桉。该装置设计用于快速、精确地处理晶片，从2英寸的小晶片到6英寸以上的晶片，直径可达200毫米。IsoPort提供了处理和处理晶片的高级功能。其高精度定位技术提供高达0.25微米精度的可重复、精确的运动。特别是在使用较小的特征大小时。该机器还提供独特的专利技术，以确保颗粒面积的分布和无过渡的刀具操作。ASYST IsoPort的空气轴承平台和集成真空资产使晶圆的精密处理具有最小的粒子生成能力。模型的均匀气流防止尘埃颗粒堆积，确保严格的污染控制条件。此外,利用快速的处理时间和较短的流程周期,可以实现较高的吞吐量.该设备还提供用于高级工艺优化的工具，例如"晶圆映射"，它显示每个晶圆层的模式，以确保工艺控制。此外，它的智能机械臂允许变化的速度控制，提供精确的运动和高分辨率的每一个操作。而且，它的"Trapbox"技术防止碎片晶片在洁净室环境中漂浮。IsoPort晶圆系统非常可靠,可提高成本效率。凭借其灵活、自动化的单元，可以在步骤中纳入多个流程，以多种方式惠及用户。结果，机器提高了工艺质量和生产产量，同时将产量损失降至最低。ASYST IsoPort非常适合跨多个行业的关键半导体制造环境中的高性能应用。