二手 ASYST IsoPort #9199614 待售

ASYST IsoPort是设计用于半导体制造过程的自动化晶圆处理设备。它能够快速地将晶圆从一个点转移到另一个点，并且晶圆变形最小。系统可以处理各种类型的晶圆，如圆形、正方形和矩形，直径可达12英寸。设备可以完全自动化或手动控制,以获得最大的灵活性。IsoPort机器由几个模块组成，包括一个无栅格晶片传输工具、一个集成的prober、一个晶片装载机和卸载机，以及一个ELV-ASYST IsoPort温度控制器。晶圆传输资产可以同时处理单个和多个晶圆批次，设计用于保证晶圆传输时的低角度、低振动运动。它由高效步进电机操作,还包括集成的ASYST晶圆体积压力（WVP）功能,可补偿运输过程中晶圆厚度的任何变化。整合式探头由机械手臂和石英门组成，通过减少灰尘和其他颗粒进入腔室的可能性，提供了一个清洁的环境。Prober能够在每个循环中传输多达六个晶片，并且可以用于各种串联测试程序，如表面质量评估和电气测试。ELV-IsoPort温度控制器设计用于精确控制和监控晶圆传输过程中的温度。它具有主动冷却模型,可用于在单个循环中测量表面温度和内部晶圆温度。最后，晶片装载机和卸载机作为晶片传输设备和集成装置之间的缓冲区。它旨在提供最大的灵活性,并保持温度以获得最佳性能。综上所述,ASYST IsoPort是一个用途极为广泛、效率极高的自动晶片处理系统,能够通过高度精确和一致的运动传输和/或测试各种直径可达12英寸的晶片。结合集成模块、温度控制和高科技晶片装载机/卸载机,确保最大吞吐量,同时将晶片变形降至最低。