二手 ASYST IsoPort #9206458 待售

ASYST IsoPort是由半导体制造自动化解决方桉行业领导者ASYST Technologies开发的高性能、可定制的自动化工具。IsoPort是一种晶圆处理程序,能够定位、传输和测试200 mm晶圆。一种高度可靠的SCARA型机器人用于执行所有晶圆处理功能，提供准确和可重复的结果。它非常适合大批量生产以及试运行和小批量开发周期。ASYST IsoPort围绕坚固的框架和坚固的机器人组件构建,运行可靠且稳定。机器人底座为晶圆处理所需的线性和旋转运动提供刚性支撑。一个精确的数字驱动设备提供平滑和准确的运动，确保可重复传输。双臂系统设计为提供安全、精细的晶圆处理操作。晶片臂的表面接触面积针对移动晶片而不损坏晶片所需的最小操控力进行了优化。IsoPort配备了先进的单元控制单元和用户友好、图形化的HMI。机器控制是基于微处理器的，提供各种定制晶圆处理操作的功能，以及高效的操作员界面。集成的HMI简化了机器人的设置和操作，允许用户指定所需的晶圆方向和其他传输参数。ASYST IsoPort采用振动控制技术,确保晶圆处理的顺畅准确.振动检测功能是内置的，可用于在需要时调整机器人的运动速度和加速度。这有助于降低转移过程中损坏易碎晶片的风险。IsoPort还包括用于自动晶圆表征以及超压/超压设备检测的选项。这些安全功能有助于确保晶圆偏置和处理条件保持在可接受的范围内。ASYST IsoPort的模块化设计允许轻松集成到现有的制造线中,并为将来的扩展提供可扩展性。IsoPort以其快速的处理速度、精确的运动控制和出色的安全特性相结合，是半导体处理应用的绝佳选择。