二手 ASYST IsoPort #9213030 待售

ASYST IsoPort是ASYST Technologies开发的SEMI S2兼容晶圆处理程序。它非常适合在从半导体制造到测试的各种应用中快速可靠地处理半导体晶片。IsoPort设备配备了多种沉积、蚀刻、检验和测试的工艺工具。其先进但易于使用的机械臂能够在整个工艺区域内移动晶片。该系统采用最少的操作员干预设计，可以由任何人快速设置和操作，无论其经验如何。晶片处理程序利用带有可移动托盘和盖的安全旋转台,以确保晶片在工艺模块之间的安全传输。每个托盘的设计都能够安全地安装和高速移动晶片,并确保整个过程中晶片的完整性。托盘装有标准尺寸的晶片，可以装有定制尺寸的托盘，以容纳不同尺寸的晶片。安全旋转台的设计目的是在处理过程中从处理程序的外边缘旋转,从而最大程度地减少污染。ASYST IsoPort晶片处理程序由高度耐用的元件和材料制成,以确保不同的工艺可靠性。其灵活的设计使维护方便,能够快速更换磨损的零件。它还包括一个独特的热剖面控制单元，确保晶片均匀加热，非常适合需要精确温度控制的过程，如介电沉积。IsoPort晶圆处理器配备了两条输送带和专用机动臂，用于高速、自动装卸晶圆。这样可以确保最佳吞吐量和一致的结果。这也允许微调传送带和臂的运动，提供完全的灵活性和晶片的可编程运动。它还配备了多项安全功能，包括一台E-stop机器，可以在紧急情况下停止整个工具。ASYST IsoPort晶圆处理程序具有一系列直观的功能和强大的数据分析功能。它具有存储流程和历史数据的全面的内置数据库,可以下载、查看和解释这些数据库,以提高流程的可见性和效率。该资产还具有强大的软件控制视觉模型,允许您自动检查晶圆、识别缺陷并启用日志报告。总体而言,IsoPort晶片处理程序经过精心设计,能够快速高效地处理晶片。其先进的技术、增强的设计和强大的工具使其成为任何半导体晶圆厂或测试设施的理想选择。