二手 ASYST IsoPort #9249554 待售

ASYST IsoPort是为半导体加工工具自动化而设计的集成晶圆处理程序。这台机器是为在洁净室环境中运输裸露和加工过的半导体晶片而设计的。它能够将晶片从其负载端口直接传输到各种操作工具，如单晶片工艺室。IsoPort使用多达八个机械臂、高质量、空气神秘和电离系统的组合，可以快速安全地将晶片从一个站移动到另一个站。此外，机器还配备了自动校准系统，允许它在必要时快速调整其晶圆抓地力。ASYST IsoPort还配备了ISO 4级洁净室等级，非常适合超清洁和污染控制环境。它能够在一个周期内传输多达25（25）个晶圆，最高周转率为每小时一百五十（150）个晶圆。此外,它还采用了标准的SiC（碳化硅）涂层,并配备了适当的多点晶圆检测系统,可确保在每个加工周期之前准确识别晶圆。此外,IsoPort还配备了一套气体传感器,使操作员能够更准确有效地监控和控制过程中的气体。它还有一个粒子监控器，让操作员能够很容易地检测到洁净室大气中的粒子、碎片和其他污染。此外，还提供盒式磁带到盒式磁带的功能，使机器能够集成到现有的自动化生产线中。最后,ASYST IsoPort采用先进的运动控制技术和先进的自动化软件,旨在减少停机时间、成本和环境影响。其用户界面包括直观的图形用户界面（GUI），它提供了快速准确地设置和操作机器所必需的信息。它还具有安全传感器和特殊的处理行为，以尽量减少运输过程中晶片受损的风险。