二手 ASYST IsoPort #9255526 待售

ASYST IsoPort是一种自动化晶片处理程序,旨在快速、精确地在多个晶片处理工具之间移动晶片。它是半导体制造、MEMS器件处理、光学器件处理等应用的理想解决方桉。此晶片处理程序基于一个完全可扩展、高度可靠的平台,可提供卓越的性能。它提供了工具和过程模块之间的快速转换,同时为最高质量的结果提供了可靠的环境。IsoPort使用具有直接驱动技术的X/Y轴位置系统，以保证晶圆最大200 mm的精确处理。X/Y轴允许更快的晶片移交和转换,以及围绕多级位置自动移动,包括用于去除和放置晶片的深垂直Z移动。其集成的升降臂技术由于机组的高速磁头速度而减少了循环时间，能够同时携带多个晶圆（最多4个）。用户界面包括一个直观的图形用户界面（GUI），允许操作员自定义和管理自己。ASYST IsoPort作为其系统的一部分提供远程服务功能和诊断。IsoPort采用模块化概念设计,允许用户轻松定制配置以满足每个应用程序的不同需求。这款晶圆处理程序还设计用于提供最大的洁净空间兼容性,并具有轻型窗帘和被动ESD保护等功能。ASYST IsoPort晶片处理程序的设计目的是通过在最短时间内最大化工具之间传输的晶片数量来最大化生产率。它还旨在最大限度地减少周期中使用的时间,同时提供精确的结果。其他功能（如位置和负载参数的数据记录）允许详细的可追踪性。由于安全是任何设备处理过程中的一个重要因素，IsoPort晶片处理程序有多种故障安全机制，如晶片的自动检索能力和专用的防尘过滤系统。此晶片处理程序可在最困难的环境中工作和工作,并确保提供更高的效率、更快的处理速度和更高的清洁度。