二手 ASYST IsoPort #9255530 待售

ASYST IsoPort是一款用于半导体制造过程的高精度、低粒度晶圆处理器。它旨在在苛刻和苛刻的过程环境中提供可靠、准确和可重复的操作。IsoPort晶圆处理程序的主要组件包括多站机械臂、晶圆传输设备和晶圆存储系统。ASYST IsoPort的机械臂配备了定制端效应器，能够在选定的工业和低温环境中安全处理和精确放置晶片。手臂由电动机驱动，使用专利的低振动伺服驱动器，以尽量减少振动、除气和粒子产生。晶圆传输单元使用线性电动机模块在工艺周期中精确地将晶圆放置在指定的点上。晶圆存储机由一台计算机管理的旋转木马式库存组成，为操作员提供高效、方便的晶圆访问。IsoPort晶圆处理器的主要优点是可重复性、精度和紧凑的设计。机器人装置提供了端部效应器的精确和可重复的定位，其低振动伺服驱动最小化污染。晶圆传输工具精确且可重复，即使在高速下也能精确地运输和放置晶圆。最后，它的紧凑设计使它能够在工业和低温环境中很容易地适应狭窄的空间。ASYST IsoPort晶圆处理程序设计为提供高效的操作和耐用性。它配备了冗余联锁和防撞传感器，以保护其及其部件免受损坏和污染。最后,它的不锈钢和塑料设计以及密封、熔融和屏蔽的环境可减少气体排放和污染,并有助于保护部件,即使在要求最苛刻的应用下也是如此。