二手 ASYST IsoPort #9255532 待售

ASYST IsoPort是为半导体和微电子加工中的工业自动化应用而设计的晶圆处理器。它是一种模块化晶圆处理设备，可以定制以满足任何应用的特定需求。IsoPort可以在安全无污染的环境中，从晶片加载到晶片卸载，精确地运输、对准和检查晶片。ASYST IsoPort基于模块化设计,可以根据用户的需求定制其组件。核心部件为转移机器人，可处理直径达25厘米的晶片；机器人制导系统，提供机器人的精确对准和制导；和架空CAE，支持晶片装卸进出IsoPort晶片室。另外一个可选的附件是一个检查单元，它提供了一个自动视觉机器，用于发现晶圆上的缺陷或分析特征。ASYST IsoPort还提供了一系列安全功能，如圆角和光滑表面，以减少受伤风险，以及一个防腐蚀安全门，以保护人员和晶片免受污染。晶圆处理工具也是防尘、密封的，并且在晶圆室内有防尘资产，以确保晶圆在处理时无污染的环境。IsoPort也节能，配有低功率步进电机和无刷线性执行器，可精确移动，降低能源成本，确保操作更安静。ASYST IsoPort还提供了可配置的软件模型,允许用户根据自己的特定需求自定义IsoPort设置。这允许用户优化流程流程,提高吞吐量,并确保可靠、可重复的流程。总体而言，ASYST IsoPort是工业自动化和晶圆加工的理想晶圆处理设备。它的模块化设计、可配置的软件和一系列安全功能使用户能够根据自己的确切需求对系统进行定制，而其能效和防尘环境确保用户拥有一个可靠、无污染的单元来处理精致的晶片。