二手 ASYST IsoPort #9298304 待售

ASYST IsoPort是为高吞吐量操作而设计的精密晶圆处理设备。它配备了独特的自动装载机/卸载机以及各种工具选项。凭借其易于使用的设计，能够进行快速高效的晶圆传输或移动。IsoPort具有集成的机械臂,可支持300 mm晶圆尺寸。该臂具有四个自由度（DOF）,可实现更大的运动范围,并安装在碳钢底盘上以实现稳定性和减振反馈。手臂由无刷直流伺服电机驱动，能够以高达1200磅的力移动物体。精密电机控制确保了准确、平稳的运动，ASYST IsoPort可支持多种包装尺寸和材料。IsoPort具有闭环控制系统,可实现最大精度和可重复性。这个先进的单元利用内置的视觉机器来增加跟踪精度。机器人可以被编程为最多放置三个独立的刀头，每个刀头能够执行拾取和放置操作。ASYST IsoPort还具有用户友好的图形界面和自定义软件的功能。IsoPort旨在提供最大程度的安全性和可靠性。它具有自动保护功能，当障碍物靠近机器人的抓斗点时，它会阻止机器人。这是为了保护机器人和晶圆。ASYST IsoPort还使用安全机制监测操作员的接近程度以及装卸作业的完整性。此外，IsoPort还配备了专有的主动减振技术和低噪声操作，用于更安静的操作。它还具有易于集成和维护的模块化体系结构,并经过UL和CE的测试和认证。ASYST IsoPort是一种多功能工具,旨在满足大容量晶圆处理操作的需要。它提供了速度、精度和出色的可重复性,使其成为各种应用程序的理想工具。IsoPort具有用户友好的设计和创新功能,是任何晶圆处理操作的宝贵资产。