二手 ASYST IsoPort #9375303 待售

ASYST IsoPort是一种全自动的直列式前开口统一吊舱（FOUP）或头枕式（HIP）晶片处理设备,旨在为半导体晶片处理提供最佳的无污染可靠性和生产率。IsoPort的特点是具有低颗粒环境和一套量身定制的技术，以满足苛刻的要求，同时保持晶圆表面的最大清洁度。ASYST IsoPort的气动闭门最大限度地减少了耗散粒子的产生，而先进的空气过滤系统，包括一个自清洁、自动过滤器交换单元和每个腔室的气闸，最大限度地减少了粒子的进入。IsoPort还拥有一台线性输送器-解相臂机械，旨在提供对晶圆的温和处理和减少粒子的撞击，使晶圆沿着线性输送机从一个站到另一个站平稳运行。ASYST IsoPort还配备了污染物监测系统（CMS），该系统旨在验证洁净室空气系统的清洁度、监控在转移过程中产生的颗粒以及测量半导体洁净室颗粒计数。IsoPort还具有几种独特的隔离技术工具，如LAFI（Local Aggressive Filtration Isolation）资产、低压粒子过滤器和自动粒子偏置模型。这些特性减少了颗粒计数，减少了颗粒粘附，增加了晶圆的清洁度。它还配备了一整套监控、控制、优化晶圆处理和传输的高级软件系统。该软件包括设备范围广泛的通信网络、集中的流程和参数管理、机器人和传送器控制、条形码读取器以及触摸屏接口。ASYST IsoPort被设计成一个可靠高效的晶片处理系统，弥合前端和后端应用之间的差距，以优化晶片传输过程，减少晶片移动时间，提高产量和盈利能力，并提高环境合规性。它是半导体制造操作的理想工具，需要最终的粒子控制、高吞吐量和最大的灵活性。