二手 ASYST / LAM RESEARCH 4620 / 1150 #9182138 待售

ASYST/LAM RESEARCH 4620/1150晶圆处理程序是一种用于晶圆制造材料处理和过程自动化的机器人设备。它是一个"车轮立方"平台，设计用于在高达140 °C的高温下运行。它也被归类为"洁净室等级"系统，这意味着它被设计为在1,000类洁净室环境中运行。晶圆处理器连接到架空的CAE单元，并配有垂直升降机，使其能够在过程中精确定位和拾取晶圆进行运输和操纵。处理程序包括一个可以操纵晶片的机械臂，以及用于将晶片移入和移出该过程的传送带。另外，晶圆处理器配备了升降-倾斜-转移（LTT）机制，使其能够将晶圆从架空CAE转移到机器人手臂，以及从机器人手臂转移到传送带，反之亦然。LTT机构由高精度的机器人控制机控制，提供晶圆的精确定位。此外，ASYST 4620/1150晶片处理程序还配备了先进的激光晶片跟踪工具，用于检测晶片的位置，以及与其他工艺设备，如负载端口模块、晶片盒式系统和熔炉系统集成的能力。它还可以与工厂自动化资产连接，用于监视和控制整个晶圆制造过程。总体而言,LAM RESEARCH 4620/1150晶圆处理程序是一种高效且先进的机器人模型,能够在清洁室环境中执行多个晶圆处理操作。它提供了晶片精确、可重复的定位，适合与其他晶片制造设备和系统集成。