二手 ASYST LPI 2200 #9094285 待售

ASYST LPI 2200是一个晶圆处理程序，设计用于商业和研究级别的半导体器件制造。LPI 2200具有双端盒式装载机,可以以6英寸、8英寸和12英寸（150英寸、200毫米和300毫米）标准格式一次处理多达30个晶片。该装载机具有独立的卡式离合器和晶片超时互锁功能，便于安全的晶片运输而不会损坏。ASYST LPI 2200处理程序还提供闭环晶片夹具设备,该设备可调节,并具有独特的专有机制,可防止晶片打滑,从而提供位置稳定性。该夹具系统适用于标准的边缘或凹口中心处理,并具有获得专利的夹具配置,可最大程度地减少晶圆上的边缘接触。此外,LPI 2200还具有温度控制环境和HEPA过滤器,以防止污染。ASYST LPI 2200的其他功能包括高速晶圆传输单元,该单元能够以高达500 mm/sec的速度移动晶圆,以及用于静电设备的真空拾音器。LPI 2200还配备了独立的散热和夹具高度控制系统，以确保适当的晶圆操控和定位精度。此外,超低振动设计有助于确保无振动和无干扰的操作。在安全性方面,ASYST LPI 2200采用安全联锁机和故障安全软件构建,可防止处理不当并确保过程控制安全。此外，LPI 2200设计适合任何标准的自动加工工具，并允许即插即用操作。此外,ASYST LPI 2200效率高,具有先进的统计过程控制（SPC）功能,可用于高端晶圆处理优化。总体而言,LPI 2200是一种功能强大且可靠的晶圆处理解决方桉,旨在满足商业和研究级别半导体制造商的需求。ASYST LPI 2200具有集成式双端盒式装载机、闭环晶片夹具、独立的热力和夹具高度控制以及高速晶片传输资产等功能,可提供安全、快速、精确的晶片处理。此外,高级SPC功能和安全互锁模型允许用户设置和控制多个参数以进行所需的工艺优化。