二手 ASYST LPI 2200 #9111915 待售

ASYST LPI 2200是最先进的晶圆处理程序,旨在实现最大的性能和灵活性。它采用模块化设计,便于定制和适应大多数工业环境。LPI 2200提供了先进的工艺和热控制能力，实现了精确、可重复的晶圆制备和处理。它的两阶段设计提供了多达10个用于部件处理的平坦/低角度阶段,以及最多四个用于管理多站点操作的后端处理。ASYST LPI 2200还采用了先进的臂末端工具来轻松处理易碎晶片。LPI 2200坚固的设计使其能够处理各种尺寸的晶片，最大晶片尺寸可达300 mm。该处理器采用高扭矩双执行器系统，具有自动夹持开关，便于快速加载和转移晶片。自动抓取系统还减少了交换工具所需的时间和精力。ASYST LPI 2200具有广泛的运动精度和可重复性,运动精度高达8µm,可重复性为± 1 µm。控制系统具有先进的过程控制、监控和通信能力，以确保最佳和可重复的晶圆处理体验。LPI 2200还支持多种高级晶圆处理功能。晶片可以在两个过程之间倾斜、浸入和清洗,以获得最大的流动性。处理程序带有一系列集成的传感器和检查系统,以确保在此过程中安全、准确地处理零件。此外,该处理程序还具有令人印象深刻的环境传感器和仪器阵列,可优化ASYST LPI 2200及相关工艺的性能。LPI 2200通过了最高安全标准认证，以降低安全风险，促进无风险运营。ASYST LPI 2200提供了许多安全功能,如接地故障中断器、过温保护和自我诊断监控。Handler对于大型零件也有宽达10英寸的模模冲程，使其适合大多数工业应用。它还具有强大的伺服电动机，以确保精确的速度和精确的重复部件配准。LPI 2200为复杂的工业零件处理提供了最大的性能、可靠性和灵活性。