二手 ASYST LPI 2200 #9277986 待售

ASYST LPI 2200是一款前沿机器人晶圆处理程序。它专为快速、可靠、精确的晶圆处理而设计。LPI 2200设计用于处理湿法和干法处理系统中的多种应用。其特点包括自动晶片处理、自动卡带/船装卸、锁载站，以及其驱动和输送能力。ASYST LPI 2200的底座由一个坚固的机械框架组成，该框架容纳机械臂、电源及其独特的驱动和输送组件。此功能可帮助设备在机器人执行工作序列时保持较高的可重复性和准确性。该单元的机械臂配备了力敏感端效应器（FSEE），可进行精确的晶圆处理。手臂配备了4个自由度，意味着它可以根据需要到达、旋转、倾斜和向后倾斜。LPI 2200使用灵活的输送机系统在其Load-Lock站和客户提供的盒式磁带或船之间快速传输晶圆。输送装置还有助于机器人准确地将晶片从一个站移动到另一个站。机器的整体驱动工具配备了先进的伺服电机和编码器资产，以确保可重复和准确的排序精度。ASYST LPI 2200的Load-Lock工作站设计用于将晶片从盒式磁带或船只快速安全地移动到机器人手臂。该站配备了智能晶片识别模型，使机器人能够在装卸前轻松识别晶片。Load-Lock站还能够一次处理多达两个盒式磁带或两艘船，而其压力控制设备有助于防止在装卸过程中对晶圆部位造成任何损坏。综上所述，LPI 2200是一种可靠、精确和高度灵活的晶圆处理程序，可用于多种过程。该装置设计有坚固的机械框架、精密的机械臂、输送系统和可快速高效处理晶圆的负载锁定站。其先进的伺服电机和编码器单元进一步提高了晶圆定位精度。ASYST LPI 2200是满足任何晶圆处理需求的可靠且高效的解决方桉。